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第一章 高纯水与集成电路1

1.1 概述1

1.2　集成电路与高纯水3

1.3　水中的杂质及其分类4

1.4　高纯水中对集成电路有害的杂质5

1.5　高纯水中有害杂质的去除11

1.6　水中电解质含量与电阻率的关系13

第二章 高纯水制备中的预处理15

2.1　制水过程简介15

2.2　凝聚与混凝17

2.3　过滤及深层过滤23

2.4　吸附28

2.5 软化33

2.6　脱气36

第三章 电渗析40

3.1 电渗析的特点40

3.2　电渗析脱盐原理40

3.3 电渗析中的传递过程41

3.4　离子交换膜43

3.5　离子交换膜的选择透过机理46

3.6　离子交换膜的污染、中毒和保管47

3.7 离子交换膜的膜化学和电化学指标测试48

3.8 电渗析器的主要部件49

3.9 电渗析器的组装53

3.10　浓差极化的危害及控制55

3.11 电渗析器主要性能指标的测试56

3.12 电渗析进水水质指标及处理方法59

3.13 电渗析器的运转与管理61

3.14 频繁倒极电渗析器（EDR）62

3.15　连续除盐电渗析器（CDI）62

3.16　常见故障现象分析及解决办法63

4.1　膜分离技术简述66

第四章 反渗透脱盐66

4.2 反渗透68

4.3　反渗透膜的种类75

4.4　反渗透膜的性能78

4.5　反渗透装置85

4.6　反渗透水处理系统88

4.7　有关反渗透的计算90

4.8　反渗透的预处理及杂质去除方法94

4.9　反渗透的后处理及维护97

4.10　双级反渗透99

5.2　离子交换的基本原理101

第五章 离子交换树脂101

5.1 概述101

5.3　离子交换树脂的结构103

5.4　离子交换树脂的分类105

5.5　离子交换树脂的性质106

5.6　离子交换树脂性能的测试方法113

第六章 离子交换树脂脱盐与再生128

6.1　离子交换脱盐装置128

6.2　离子交换树脂的污染及处理131

6.3　大孔树脂和均孔树脂137

6.5　离子交换树脂的再生方法141

6.4　离子交换树脂的再生原理141

6.6　影响树脂再生的因素143

6.7　大孔树脂的再生144

第七章 超过滤及精密过滤145

7.1　超过滤145

7.2　精密过滤160

第八章 消毒灭菌166

8.1　紫外线杀菌167

8.2　臭氧消毒灭菌173

9.1 纯水制造中的材质污染及材质选样176

第九章 纯水制造中的材质污染及水质监控176

9.2　纯水系统设计与系统参数计算182

9.3　纯水制造中的水质监控186

第十章 原水水质分析192

10.1 水样的采集和储存192

10.2 原水分析198

10.3　水质分析结果的检验240

第十一章 高纯水的分析244

11.1 水的纯度及水质标准244

11.2　分析方法的选择和评价248

11.3　分析数据的处理及评价252

11.4　水样的采集、储存和运送261

11.5 电阻率和电导率的测定262

11.6　金属元素的测定269

11.7　硅的测定278

11.8　阴离子的测定282

11.9　有机物的测定285

11.10　颗粒的测定289

11.11 细菌的测定294

11.12 高纯水中细菌内毒素的测定297

附录301

参考文献317